蒸着装置の膜厚モニタ

戻る

                   (SPG-120S-REVの場合)

蒸着装置の膜厚の測定

概要

ハロゲンランプの白色光を蒸着装置内のモニタ基板に照射し、その反射光を分光器で分光し,特定波長の光強度をホトダイオードで検出し時間変化をモニタする構成です。時間変化の記録にはコントロールアンプのアナログ出力を利用して市販のデータロガーで行います。
モニタ基板上に蒸着された光学薄膜の膜厚に応じた反射光強度の変化をモニタできます。

構成

(SPG-120S-REVの場合)

部品番号(P/N) 名称
691-05600-01 SPG-120S-REV
691-05147-□□ スリット(2個必要)
691-06590 モータコントローラ AT-120PCC-REV
691-06181 ハロゲンランプユニット AT-100HG(可視・赤外域用)
691-06477-04 チョッパユニット AT-120CH
691-06490 ホトダイオードホルダ AT-120PD
691-06550 コントロールアンプ(GP-IB 内蔵) AT-120AP
691-06653 USB 対応GP-IB コントローラ
691-50890-32 GP-IB ケーブル(2本)
691-06737-□□
691-06541-□□
次数分離フィルダ
691-06510 フィルタホルダ
691-06575 モータコントローラ AT-120PCC
691-06379 光学ベンチセット
  • ※図中の斜線で示したものは標準品ではありません。
  • ※外観および仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。