回折格子の溝形状

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Profile of Grating grooves

回折格子(Gratings:グレーティング)は、溝の断面形状によりいくつかの種類に分類できます。ここでは当社で製作している回折格子のうち主な3種類の特長を紹介します。

1.ブレーズド ホログラフィック 回折格子(BHG)

鋸歯状溝

  • 紫外から可視域の特定の波長に対して高い回折効率を示します。
  • ブレーズ角でブレーズ波長(回折効率のピーク波長)が決まります。
  • 可視・紫外の分光器に使用されます。
鋸歯状溝

2. ホログラフィック 回折格子(HG)

正弦波状溝

  • 広い波長範囲で回折効率がブロードです。
  • 溝深さで回折効率のピーク波長が決まります。
  • 一般に、回折効率はブレーズド ホログラフィック 回折格子(BHG)の半分程度ですが、溝深さ/溝周期が大きい場合にはBHG より高い回折効率が得られることがあります。
  • 広い波長域を使用する場合や近赤外域で使用されます。
正弦波状溝

3. ラミナー回折格子

矩形状溝

  • 偶数次光の回折効率がBHG、HG に比べて低くなります。
  • 溝深さとデューティ比(溝周期に対する溝幅)で回折効率のピーク波長が決まります。
  • 軟X線領域での反射率が大きく取れるため、軟X線領域で使用されます。
矩形状溝