島津回折格子のご紹介

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Blazed Holograohic Gratings Created by Shimadzu Technology

ホログラフィック回折格子(HG:Holographic Grating)は、レーザの2光束干渉を利用したホログラフィック露光法で製作された回折格子です。このため、周期誤差による迷光が極めて少なく、特に凹面ホログラフィック回折格子(凹面HG)に関しては、回折格子自体が収差補正機能をもつという優れた特長をもっています。
当社は、理化学研究所との長年にわたる共同研究の結果、イオンビームエッチング法により、それまで不可能とされてきたホログラフィック回折格子のブレーズ加工に成功しました。

これにより、従来の機械刻線回折格子(Ruled Grating)と回折効率は同等で、迷光が少ないブレーズドホログラフィック回折格子(BHG:Blazed Holographic Grating)の製造技術を 世界で初めて確立しました(図1)
この独創的な回折格子の製造技術は、大河内記念技術賞を受賞しました。
また、当社は、各種回折格子において使用波長域での収差補正をより適正化するため、ホログラフィック露光波面に非球面波を用いる「非球面波露光法」の技術も確立しました。これにより、最適な回折格子を設計・製作することができるようになり、分光装置の特性に合わせた広範な選択が可能となりました。

図1 ブレーズド ホログラフィック グレーティングの製作工程

図1 ブレーズド ホログラフィック グレーティングの製作工程