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2018年

プレスリリース

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2018/03/27

半導体製造装置向け、設置面積を約50%低減
ターボ分子ポンプ「TMP-5305シリーズ」用小型電源ユニットを発売

ターボ分子ポンプ「TMP-5305シリーズ」(左)と今回開発した小型電源ユニット(右) ターボ分子ポンプ「TMP-5305シリーズ」(左)と今回開発した小型電源ユニット(右)

島津製作所は、半導体ドライエッチング装置に組み込まれるターボ分子ポンプとして最高の排気性能を有する磁気浮上型ターボ分子ポンプ「TMP-5305シリーズ」向けに、設置面積の低減と軽量化を施した専用の小型電源ユニットを開発しました。当社は、この小型電源ユニットを2018年4月から国内外で販売します。

半導体は、AI、IoT関連技術の発達や電子デバイスの高度化にともなって需要が急拡大しており、3D NAND型メモリに代表されるように高積層化が急速に進んでいるため、ウェハーへのエッチング回数も増加しています。そこで、エッチング一回あたりの時間を短縮するため、高速な排気が可能なターボ分子ポンプが必要とされており、現在主流の排気速度3000~4000リットル/秒クラスよりも排気性能に優れたターボ分子ポンプが求められています。

このような背景のもと、当社は、業界最高速の5300リットル/秒で排気が可能なターボ分子ポンプ「TMP-5305シリーズ」拡販のため、設置面積を当社従来製品比で約50%削減した専用の電源ユニットを開発しました。この小型電源ユニットは、従来の3000~4000リットル/秒クラス向け電源ユニットと同じ寸法のラックに収納することが可能です。また、半導体業界で普及が進むEtherCAT通信プロトコルにも対応しました。

当社は、他社のラインナップには無い排気速度5000リットル/秒クラスの磁気浮上型ターボ分子ポンプ「TMP-5305シリーズ」を北米や日本、韓国などで展開することで、半導体製造装置市場におけるさらなるシェア拡大を目指します。

【新製品の特長】
1. 設置性を重視したコンパクトな設計
当社従来製品比で設置面積を約50%低減するとともに約30%軽量化しました。この設置面積と重量は、半導体製造装置向けモデルで現在主流の排気性能3000~4000リットル/秒クラスのターボ分子ポンプ用電源ユニットと同等です。

2. 産業用の通信規格EtherCATに対応
半導体業界で普及が進む産業用の通信規格EtherCATに対応しています。高速な複数同時通信により、ターボ分子ポンプの状態確認やメンテナンスサイクルの最適化に貢献します。

小型電源ユニットの価格 120万円~(税別)
販売計画 2018年度に国内外で合計100台
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