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2017年

プレスリリース

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2017/12/08

省スペース・低ランニングコスト・優れた排気性能を実現
ターボ分子ポンプ「TMP-B70形」を発売

ターボ分子ポンプ「TMP-B70形」 ターボ分子ポンプ「TMP-B70形」

島津製作所は、省スペースかつ低ランニングコストながら排気性能に優れた小型のターボ分子ポンプ「TMP-B70形」を12月8日に発売します。

本製品は、小型真空排気装置のような産業機器や光学機器、質量分析計や表面分析装置、電子顕微鏡のような分析機器への組み込み用途のほか、様々な研究用途で利用しやすい小型モデルです。タービンを支える軸受部や制御機構の最適化により、低消費電力に加えてメンテナンス頻度を減らして長寿命化を実現しました。また、磁気軸受とセラミック玉軸受の組み合わせ軸受方式のターボ分子ポンプとしては、同口径で業界トップクラスの排気性能を有しています。

【開発の背景】
ターボ分子ポンプは、高速に回転するタービンによって高真空状態を作り出すことができる真空ポンプです。ターボ分子ポンプの中でも、磁気軸受とセラミック玉軸受を組み合わせた方式を採用する小型モデルは、真空プロセスが必要な産業機器や分析機器のキーコンポーネントのひとつとして重要な役割を担っています。

当社は、2014年に発売したターボ分子ポンプ「TMP-B300形」を通じて小型ターボ分子ポンプ市場に本格参入しました。ターボ分子ポンプは当社の戦略商品であり、2017年3月期の売上高は143億円です。中期経営計画においては、2020年3月期に売上高を160億円まで引き上げる方針です。

このような計画のもと、当社は、産業機器・分析機器市場の拡大にともなって多様化するニーズに応えることを目的に、「TMP-B300形」よりも小型な「TMP-B70形」を開発しました。本製品は全世界に展開し、発売から1年間で合計650台の販売を見込んでいます。

【新製品の特長】
1. コンパクトながら高い性能を実現
一般的なISO63フランジ・強制空冷の仕様では直径95mm×高さ149mm、重さ3.2kgとコンパクトながら、水素ガスに対する圧縮比4×105と、同口径のターボ分子ポンプで業界トップクラスの圧縮・排気性能を有しています。このため、排気側から吸気側への逆流が生じにくく、高真空な環境を作り出すことができます。

2. 低ランニングコストで運用可能
タービンの軸受部および制御機構の最適化、新開発したモータの採用により、動作効率が向上しました。セラミック玉軸受の推奨交換周期は無負荷運転時において業界トップクラスの5年を達成し、消費電力は当社従来モデルと比較して約60%低減しています。

3. 優れたユーザビリティ
本体が垂直・水平・倒立のいずれの状態でも動作するため、搭載機器の小型化や設計の自由度を高めることが可能です。また、起動や停止操作が可能な操作パネルをポンプ本体に搭載しました。「TMP-B70形」と同時発売の視認性に優れた電源付き表示ユニットを接続すれば、ターボ分子ポンプ本体に電源を供給しながら稼動状態を確認できます。

名  称 ターボ分子ポンプ「TMP-B70形」
価  格 70万円~(税別)
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