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2015年4月6日 | プレスリリース 従来機比約10倍の高速波長移動を実現したモノクロメータ
スペクトロメイト「SPG-120-REV」を発売
- スマートフォン・タブレット用FPDやLEDなどの製造・検査ラインの効率性向上に有効 -

スペクトロメイト「SPG-120-REV」

スペクトロメイト「SPG-120-REV」

島津製作所は、波長可変単色光源 / 発光体のスペクトル分布測定 / 物質の透過・反射特性測定などに適したモノクロメータ「スペクトロメイトシリーズ」の新製品「SPG-120-REV」を4月7日に発売します。また、本製品を「Photonix2015」(4月8日~10日、東京ビッグサイト)に出展します。

モノクロメータは、内部の回折格子を回転させることで、入射した光から特定の波長を取り出す分光器の一種です。光源と組み合わせることにより取り出せる波長を変えることのできる単色光源になります。また、検出器と組み合わせることにより発光体のスペクトル分布や物質の透過・反射特性の測定が可能となります。

当社は国内有数の小形分光器メーカーで、明るさが特長の当社独自の「凹面ブレーズド ホログラフィック 回折格子」を分光光学素子に採用したモノクロメータ「スペクトロメイトSPGシリーズ」を販売しており、その明るさと使いやすさから好評を得ています。フラットパネルディスプレイ(FPD)・LED・太陽電池・カメラ向け検出器などの分野で、研究・開発時の分光特性評価に用いられたり、多数の試料の光学特性を測定する検査装置や、半導体のドライエッチングプロセスの終点検出モニタ、蒸着装置の膜厚モニタとして各種製造装置に組み込まれています。

近年、さらなる測定スループットの向上が、製造・検査工程はもちろん、研究・開発時においても要求されていることから、波長駆動機構を見直すことにより、高い波長精度を維持したまま波長移動速度を従来機の約10倍である500nm/sまで高めた本製品を開発しました。多数の試料測定や光特性の面分布測定など繰り返し測定の多い場合や、測定波長の多い場合などにおいて、測定スループットの向上に貢献します。また、これまでの波長移動速度では難しかったライン上での高速分光検査にも適用できますので、食品の品質管理などへの展開も期待できます。
本製品は、用途に応じて選択いただけるよう、紫外域(190-700nm)・可視域(200nm-900nm)・近赤外域(700nm-2500nm)のそれぞれの波長範囲に対応するラインナップを揃えています。

当社は、様々な独自技術による優れた結像特性や低迷光特性、回折効率特性を有した回折格子の販売戦略の一つとして、光学設計を最適化した分光器をパッケージとして提供することによりビジネスを展開しています。今後、本製品を契機に、アメリカを始めとする海外市場にも進出し、さらなる販売拡大を目指します。

本製品の特長

1. 従来機比約10倍の高速波長移動

波長駆動機構として、高い減速比の減速機を組み合わせた高分解能ステッピングモータを新たに採用したことで、高い波長精度を維持したまま従来機比約10倍となる500nm/sの高速波長移動を実現しました。分光器の波長移動時間の短縮によって、測定スループットの向上に寄与します。

2. 高い耐久性

従来機では摺動部を持つ機構を用いて波長走査をしていたため、波長移動を高速化すると摺動部が摩耗して、波長ずれの発生を避けることができませんでした。本製品では、機構を見直すことにより摺動部の摩耗がなくなり、従来機と比較して耐久性が約5倍に向上しました。長時間使用しても波長ずれが生じにくいので、装置に組み込んで用いる場合に有効です。

3. コンパクト

分光器本体と波長駆動装置を一体化したことで、設置面積は従来機比27%減の187cm2(波長駆動オプション付き従来機:256 cm2)となり、省スペースに設置可能です。

名称 スペクトロメイト「SPG-120-REV」
定価 655,000円(税別)から
販売計画 国内外80台(発売から1年間)

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