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2014年

プレスリリース

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2014/10/06

加工分野や計測分野向けに短波長レーザのラインナップを強化
- 微細加工などに新手法を提案する高輝度青色半導体レーザも発売 -

島津製作所は、微細加工に適した「ファイバー結合型高輝度青色半導体レーザHK-5650」を10月14日に発売するとともに、株式会社オキサイドの「連続発振266nm深紫外固体レーザFrequadシリーズ」の販売も開始し、高出力/高輝度短波長レーザのラインナップを拡充します。また両製品を「インターオプト2014」(10月15日~17日、パシフィコ横浜)に出展します。

当社は、今後急拡大が見込まれている加工用レーザの世界市場*1を見据え、次世代高機能レーザ加工向け光源事業の確立に注力しています。そこで、戦略商品の一つとして、10W出力のファイバー結合型高輝度青色半導体レーザHK-5650を開発しました。
半導体レーザは小型で電気-光変換効率が高く、大量生産による低コスト化が可能であるという利点があるものの、高出力化には発光面積の拡大に伴い輝度が低下し、さらに赤外光のため、従来は加熱用途やプラスチック溶着の用途に限られてきました。本製品は金属への吸収率が高い450nmの短波長において従来の16倍*2の輝度を実現し、スポットサイズが極小のため、加工材料の多様化への対応やスマートフォンに代表される電子デバイスの小型化に伴い需要が伸びている金・銅などの高反射・高熱伝導率材料の微細加工や近年注目を浴びている3Dプリンタ等に用いることができます。また次世代照明として研究が進められているレーザ励起白色蛍光体の励起用光源等にも適しています。またフレキシブルに伝送可能なファイバー結合型を採用しているため、自由度の高い取り回しが可能で汎用性に優れています。
今後は、さらなる高出力化および高輝度化を目指すとともに、本製品で培った技術を活かして赤色や緑色の高輝度レーザモジュールを開発することにより、大型プロジェクター用RGB(Red/Green/Blue)光源などへの展開も図っていきます。

また、より短波長のUV領域のレーザとして、株式会社オキサイドが開発・製造する「266nm深紫外固体レーザFrequadシリーズ」の販売を開始しました。株式会社オキサイドは、独立行政法人物質・材料研究機構からのベンチャー企業であり、レーザ結晶をはじめとした結晶育成技術に優れ、それを応用した高いレーザ技術を有しています。本深紫外レーザは、0.005pm以下の狭スペクトル幅の単一波長光源であり、分析計測装置や半導体検査装置の光源に適しています。出力は10mWから2Wまでの4種をラインナップしており、広い用途に対応できます。青色光源に続き当社がこれまで有していなかったUV領域へのレーザ展開を図っていきます。

当社は、光源市場の3割を占めるレーザ加工分野、当社事業とのシナジー効果が見いだせる分析計測分野、そして新応用分野に向けてレーザのラインナップを充実させて顧客の多様なニーズに応えることにより、事業の拡大を目指します。

*1 OPTECH CONSULTING 社「Fiber Laser Report 2011」
2010年の加工用レーザ市場は2,500億円であったが、2020年には5,700億円まで急拡大すると見込まれている。そのうち半導体レーザは500億円を占める。
*2 当社調べ


<ファイバー結合型高輝度青色半導体レーザHK-5650の特長>
1. 業界最高クラスの高輝度を実現
ブルーレイディスク、プロジェクター等に用いられるGaN系半導体レーザをベースに、これまで培ってきた光学機器精密組立技術、高耐性コーティング技術に加えて、新たに開発した光多重化技術を用いてファイバー結合型青色半導体レーザの輝度を従来の16倍に向上させることに成功しました。
スポットサイズがφ100μmと極小であり、微細加工用途にも適しています。
2. 新たなアプリケーションの提供
450nmの短波長を用いており、金や銅などの金属への吸収率が高いため、基板の配線パターン加工や半導体薄膜加工などの微細加工に適しています。
またレーザの指向性という特長を活かして、蛍光灯・LEDに続く次世代の照明として研究が進められているレーザ照明の光源としても期待されます。
3. 優れたコストパフォーマンス
青色半導体レーザを直接レーザ加工に用いるため、固体レーザ・ファイバーレーザを用いた固体グリーンレーザよりも安価で、消費電力は半分程度です。さらに炭酸ガスレーザ、固体グリーンレーザと比較してメンテナンス性も優れています。
ファイバー結合型高輝度青色半導体レーザHK-5650 ファイバー結合型高輝度青色半導体レーザHK-5650

名   称 ファイバー結合型高輝度青色半導体レーザHK-5650
価   格 250万円(税抜き)
販売計画 50台(発売から1年間)

<連続発振266nm深紫外固体レーザ Frequadシリーズの特長>
10mWから2Wまでの出力の異なる4種のレーザをラインナップしており、広い用途に対応できます。
深紫外固体レーザFrequad-C(出力20mWタイプ) 深紫外固体レーザFrequad-C(出力20mWタイプ)

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