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2014年9月1日 | プレスリリース 世界最高水準の感度と空間分解能を実現
電子線マイクロアナライザ「EPMA-8050G」を発売
最新のFE電子光学系で微小領域の超高感度分析が可能

電子線マイクロアナライザ「EPMA-8050G」

電子線マイクロアナライザ「EPMA-8050G」

島津製作所は、優れた操作性を維持しながら、最新型のFE(Field Emission)電子光学系の搭載によって、FE-EPMAとして世界最高水準となる感度と空間分解能を実現した電子線マイクロアナライザのハイエンドモデル「EPMA-8050G」を発売しました。

電子線マイクロアナライザ(EPMA)は、細く絞られた電子線をサンプルの表面に照射し、サンプルから放出された特性X線の波長と強度を検出することで、電子線が当たった極めて小さな領域に含まれる元素の定性と定量を行うことができる装置です。元素の定性・定量以外にも、サンプル表面のどこにどの元素が含まれているかを解析するマッピングや、含まれている元素の化学結合状態の分析も可能で、SEM(走査型電子顕微鏡)としての機能も併せ持ちます。幅広いサンプルを非破壊で分析でき、主として金属や半導体を始めとする様々な材料の研究開発などに用いられています。

本製品は、従来機種で好評を得ていた感度の高さと操作性を保ちながら、電子線を照射する電子銃部分の光学系を変更したことで分解能が向上し、世界最高クラスの感度と空間分解能をそれぞれ実現した最上位モデルです。FE電子銃としては極めて大きな照射電流による超微量元素の検出感度向上や、美しく鮮明なイメージングデータなど、圧倒的な分析能力によってお客様をサポートします。

  • ※空間分解能:違いを認識可能な最小の距離

開発の背景

EPMAは大学や国の研究機関での使用が多く、分析の高度化に伴い、年々ハイエンドモデルに対するニーズが高まってきています。また、近年では、金属を始めとする材料分野の分析以外にも、触媒における微小粒子や、鉱物などの微細組織の分析といった用途で用いられることも多くなってきており、生体試料の分析への応用も期待されています。

EPMA-8050Gはこれらのニーズに対し、52.5度という高いX線取り出し角度や、高感度4インチX線分光器を最大5台搭載可能といった当社製EPMAのみが持つ優れたスペックと、一連の分析が容易に行える高い操作性はそのままに、従来までのデザインを一新し、電子線を照射する電子銃にはあらゆる電流条件で高い性能を実現するFE電子光学系を初めて採用しました。これにより、直径わずか50nm程度の粒子の観察やさらに高感度・高倍率のイメージングも可能となったことで、ナノレベルでの触媒の解析や、EPMAによる薬物動態解析など従来困難だった用途にも対応でき、これまでになかった最先端の市場の拡大・創出も目指します。

新製品の特長

1. 世界最高水準の空間分解能

元素マッピングにおける空間分解能は世界最高水準の性能(10kV-1μA-150nm)を実現しました。また、二次電子分解能もEPMAとしては最高クラスとなる3nmを達成しており、なめらかで鮮明なSEM画像を簡単に得ることができます。

2. 大電流による世界最高レベルの感度

FEタイプのSEM、EPMAとしては卓越した最大電流(3.0μA)を実現したことで、世界最高レベルの感度で分析を行うことができます。超微量元素の検出能力が飛躍的に向上し、元素マッピングにおいては超微量成分のイメージングが可能になります。

3. 優れた電流の制御能力による自動分析への対応

微小電流による二次電子画像観察から大電流での高感度分析まで、最適な電流に制御することができ、対物絞りの交換作業は不要です。そのため、お客様が求める様々な分析を自動で行うことが可能となり、ワークフローの効率化にも大きく貢献します。

名   称 電子線マイクロアナライザ「EPMA-8050G」
価   格 1億4,320万円~(PCワークステーション込み、税別)

 

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