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2013年8月29日 | プレスリリース コンパクトな電源一体化ターボ分子ポンプ
「TMP-X2905/X3405シリーズ」を発売
- 半導体・液晶パネル製造装置の低コスト化、省フットプリント化に寄与 -

磁気軸受形 電源一体化ターボ分子ポンプ「TMP-X3405シリーズ」

磁気軸受形 電源一体化ターボ分子ポンプ
「TMP-X3405シリーズ」

島津製作所は、半導体・液晶パネルなどの製造装置向けに、排気速度3000L/sクラスの磁気軸受形電源一体化ターボ分子ポンプ「TMP-X2905/X3405シリーズ」を9月2日に発売します。

ターボ分子ポンプとは、タービンを高速回転させ分子レベルで排気を行う真空ポンプで、清浄な高真空が要求される半導体や液晶などの製造プロセスにおいて欠かすことのできないキーコンポーネントの一つです。

本シリーズは、ポンプ本体と電源が一体でコンパクトであるとともに、ライトプロセス・ハードプロセスのいずれの製造装置にも搭載できる汎用性の高いターボ分子ポンプです。

当社は、ターボ分子ポンプをグローバル戦略商品として位置付けており、本シリーズについても米国・台湾・韓国・中国を中心に全世界へ拡販を進めていきます。

開発の背景

近年半導体や液晶パネルなどを使用する各種電子機器の価格が低下していることに伴い、半導体・液晶パネルメーカの製造装置に対するコスト意識は厳しいものとなっています。
製造装置に搭載されるターボ分子ポンプについては、ポンプ本体と電源がケーブルで接続される構成である別置き型から、ポンプ本体と電源を一体にすることで部品点数の削減・コストの低減を実現する電源一体化ターボ分子ポンプへのニーズが高まっています。
当社は不活性ガスを使用するスパッタ装置などのライトプロセス専用ポンプとして電源一体化ターボ分子ポンプTMP-Vシリーズを上市しており、日本はもとより海外においてもご好評をいただいております。今回は、腐食性ガスを使用するエッチング装置など、ターボ分子ポンプにとって厳しい使用環境となるハードプロセスにも対応できる本シリーズを開発しました。 

今後TMP-Xシリーズを排気速度300L/sから4000L/sまで順次展開してラインナップを拡充することにより、半導体・液晶パネル製造装置メーカの多様なニーズにお応えしていきます。

本製品の特長

1. 業界最小レベルのコンパクトな電源一体化ターボ分子ポンプを実現

設計の見直し等により、排気速度を維持したまま従来の電源一体化ターボ分子ポンプと比べて高さ寸法を約15%低減することができました。また、ハードプロセス対応の電源別置き型ターボ分子ポンプのポンプ本体と比べても、ほぼ同等サイズの電源一体化ターボ分子ポンプを実現しました。
従来の電源別置き型ターボ分子ポンプで必要だった電源を設置するラックやケーブルといった部品が不要になるため、製造装置の設計の自由度が増すとともに、製造装置の低コスト化、また省フットプリント化を可能にします。

2. ハードプロセスへの対応

ポンプ温度制御機能を備え、またモータ駆動出力を向上させることで、ガス流量の多いプロセスや、反応性生成物を伴うプロセスでも使用可能となりました。
また、当社ターボ分子ポンプの特長である、耐腐食コーティング、ダイナミックシールを継続採用しており、腐食性の高いガスを使用するハードプロセスにおいても、ターボ分子ポンプへの浸食を防ぎ高い信頼性を確保しています。

3. 省エネルギー化を達成

今回新たに開発したパワーユニットや高効率モータを採用することにより、従来機種に比べて消費電力を最大15%削減(無負荷時)した、環境負荷の低いシリーズです。

名  称 磁気軸受形 電源一体化ターボ分子ポンプ 「TMP-X2905シリーズ」「TMP-X3405シリーズ」
価  格 TMP-X2905シリーズ 5,100,000円(税別)
TMP-X3405シリーズ 5,500,000円(税別)
サ イ ズ TMP-X2905シリーズ(VG250) φ350×H458 mm 115kg
TMP-X3405シリーズ(VG300) φ400×H395 mm 89kg
販売計画 500台(初年度、TMP-X2905/X3405合わせて)

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