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2013年6月20日 | プレスリリース 微細電極も短時間で検査可能
太陽電池セル電極検査装置「SCI-8P」を発売
- 高信頼性太陽電池セルの生産を支援するSCIシリーズのラインナップ充実 -

電極検査装置「SCI-8P」

電極検査装置「SCI-8P」

島津製作所は、結晶シリコン型太陽電池セル生産における電極印刷プロセス向けに電極検査装置「SCI-8P」を6月20日に発売します。
本製品は、業界最高レベルの高分解能の撮影システムにより微細電極の検査が可能であり、また電極検査とウエハ外観検査を1台で同時に、かつ業界最速レベルの測定時間で実施することができます。

開発の背景

クリーンエネルギーに対する関心の高まりや再生可能エネルギー買取制度の開始などにより、太陽電池の需要は拡大を続けています。その一方で、太陽電池の価格競争や品質競争はより激しさを増しています。そこで、生産性を向上させつつ品質管理を厳格にするために、太陽電池セルの生産工程において現在主に人手で行われている検査を自動化することが求められています。

当社は太陽電池セル検査装置として、1台でマイクロクラックとウエハ外観を同時に検査できる複合検査装置「SCI-8SM」、業界最小サイズの外観検査装置「SCI-8S」の2機種を本年3月に発売しており、日本をはじめ、中国・台湾などにおいてもご好評をいただいております。今回発売する電極検査装置「SCI-8P」をSCIシリーズのラインナップに追加し、歩留まりや発電効率の向上に貢献することで、信頼性の高い太陽電池セルの生産をさらに支援してまいります。
なお、本シリーズ製品は新設ラインだけでなく、既設ラインの限られたスペースにも追加設置が可能です。

本製品の特長

1. 高変換効率化に伴う微細な電極にも対応

近年、高変換効率化のために電極の微細化が進んでいることに対応するべく、業界最高レベルの高分解能カメラ(35μm/pixel)と独自画像処理技術を組み合わせた本製品を開発しました。太陽電池の変換効率の低下につながる電極の太り・細りや断線などの欠陥、印刷位置のズレなどを早期発見し、ライン停止による長期の生産中断の防止や歩留まりの向上に効果を発揮します。

2. 電極検査と外観検査を同時に高速で検査

電極の太り・細りや断線等を検査する「電極検査」、ウエハ外形部の割れまたは突起、反射防止膜のパーティクル、膜厚および分布測定などのウエハ外観を検査する「外観検査」を1台で同時に、かつ業界最速レベルの測定時間1秒/枚以下で実施することができます。

名称 結晶シリコン型太陽電池向け電極検査装置「SCI-8P」
価格 1千万円(税別)
サイズ 307 (W) x 311 (D) x 840 (H) mm(装置本体、照明電源含む)
販売計画 20台(初年度)