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2013年4月8日 | プレスリリース 世界最高レベルのレーザ耐性を有する 高出力用レーザミラー・レーザウィンドウを発売
高スループットなレーザ加工機の実現に貢献

高出力用レーザミラー

高出力用レーザミラー

島津製作所は、高出力レーザの使用に最適なレーザミラーおよびレーザウィンドウを、4月8日に発売します。また、本製品を「Photonix2013」(4月10日~12日、東京ビッグサイト)に出展します。

レーザ応用分野の発展に伴い、産業分野においてはレーザ加工の速度向上のために、医療分野においてはレーザ治療やX線ビームの発生のために、そして理化学分野においては感度の高いレーザ計測の実現のために、より高出力なレーザの実用化への期待が高まっています。

しかしながらレーザ装置の構成部品として不可欠である光伝送(反射)用のレーザミラーや、光透過用のレーザウィンドウといった光学素子は、高出力のレーザ光が当たると破壊され、その機能を失ってしまうという問題がありました。よって、レーザ耐性の高い光学素子の開発が求められていました。

そこで当社は、高出力のYAGレーザおよびチタンサファイアレーザ用に、高耐性・高反射率のレーザミラーおよび高耐性・高透過率のレーザウィンドウを開発しました。アモルファス膜成膜技術を採用することで、YAGレーザの波長において、レーザミラーで従来比1.4倍という世界最高レベル*の耐性が、レーザウィンドウでは従来比1.6倍となる耐性が得られました。またレーザミラーは反射率99.9%以上 、レーザウィンドウは透過率99.5%以上と、高い性能も兼ね備えています。
本製品は、高出力レーザの実用化に寄与することで、レーザ加工分野における応用の拡大、最先端医療の実現、また生命科学の解析や新材料の開発など、様々な分野の発展に貢献します。
なお、本製品は、独立行政法人日本原子力研究開発機構 量子ビーム応用研究部門と共同で開発した技術を利用しています。

当社は、コストパフォーマンスに優れたレーザミラー36種、レーザウィンドウ12種をラインナップしています。国内外のレーザ加工機メーカを中心にOEM供給することにより、2016年度にはカスタマイズ品も含め1億円の売上を目指します。
また、2012年9月に発売した外部共振器型短パルス半導体レーザ「BEAM IMPACTシリーズ」と合わせ、次世代高機能レーザ加工機向け事業を進展していきます。

  • * 2012年9月当社調べ

本製品の特長

1. 高レーザ耐性

独立行政法人日本原子力研究開発機構と共同でレーザ光による光学素子の破壊メカニズムを解明しました。この破壊メカニズムに対して有効な、結晶化しにくいアモルファス膜を成膜する技術を開発することで、高出力のレーザ光に対して優れた耐性を有する本製品を実現しました。

2. 高反射率・高透過率

異なる屈折率の物質を数百ナノメータオーダーの膜厚で交互に数十層積層する誘電体多層膜成膜技術にアモルファス成膜技術を加えることで、多層膜間の界面粗さを極限まで小さくしました。これにより散乱損失を極限まで抑えることが可能となり、高反射率と高透過率を実現しました。

3. 充実したラインナップ

レーザミラーは36種、レーザウィンドウは12種と、幅広いラインナップの中から、用途に適したものを選択できます。
波長は、YAGレーザの基本波で使用される1064nmおよび第2高調波532nm、チタンサファイアレーザの750~850nmに対応し、外形は、レーザミラーはφ0.5~5インチの6つのサイズから、レーザウィンドウはφ0.5~3インチの4つのサイズから選択可能です。さらに、レーザミラーは入射角を0度と45度の2つから選択できます。全てRoHS指令適合品です。
なお、コーティング特性、基板形状などについて、お客様のご要望に応じた特別仕様にも対応します。

名  称 レーザミラー、レーザウィンドウ
価  格 レーザミラー、レーザウィンドウともに 13,000円~150,000円(税抜)
販売計画 500個(2013年度 高出力用レーザミラー・レーザウィンドウ合計)

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