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PRODUCT 真空機器/FPD製造装置
 
ターボ分子ポンプ
  電源一体型
TMP-X1205 TMP-X1605 TMP-V2905 TMP-X3405 TMP-X4306 TMP-V2304LM
TMP-V3304LM(F)
TMP-X4306 シリーズ
標準仕様
ターボ分子ポンプ TMP-X4306LMTF
吸気口側フランジ VG350 VG400
排気口側フランジ
KF40
冷却方法
水冷
到達圧力 (ベーキング後) 10-7 Pa オーダ
Arの最大許容流量 (注1)
2300 mL/min(設定温度:75℃)(注2)
最大吸気口圧力
(注1)
40 Pa
最大排気口圧力
(注1)
270 Pa
排気速度(注3) N2 4400 L/s
Ar 4200 L/s
H2 2600 L/s
圧縮比 N2 1×109 以上
H2 4×103
規定回転数 24000 rpm
起動時間 14分以内
取り付け方向 2全方位取り付け可能
振動 [弊社測定方法による] 0.01µm以下(片振幅)
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 1500 L/min以上
表示 ランプ POWER / ROTATION / TEMP.CONTROL / ALARM
外部制御 接点入出力
REMOTE(D-sub 25ピン メスコネクタ,固定金具 UNC 4-40)
 入力 START / STOP / RESET / LOW SPEED
 出力 ROTATION / NORMAL / ACCELERATION / BRAKE /
REMOTE / TEMP.STABLE / ALARM / WARNING
シリアルインターフェース RS-232C / RS-485(2線式)
回転数可変 ポンプの規定回転数の25 %〜100 %の間で,運転回転数の変更が可能。
(設定は0.1 %単位)
冷却水 流量 3 L/min以上
水圧 0.2〜0.5 MPaG
水温 19〜30 ℃
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
入力電源 電圧 単相 AC 200 〜 240 V ± 10 % (50 / 60 Hz ± 2 Hz)
所要電力 2.0 kVA
質量 103 kg 120 kg
(注1) 最大吸気口圧力,最大排気口圧力および最大許容流量の条件は同時に満たすことは出来ません。
(注2) mL/minは0 ℃,1気圧での体積流量で表示しています。(SCCM表記と等価です。)
(注3) 保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は,
4000 L/s(VG350 / VG400)となります。
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