磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型TMP-X4306

標準仕様

ターボ分子ポンプ TMP-X4306LMTC
吸気口側フランジ VG350 VG400
排気口側フランジ KF40
冷却方法 水冷
到達圧力(ベーキング後) 10-7 Pa オーダ
Arの最大許容流量※1 ※2 920 mL/min(設定温度:65 ℃)
最大吸気口圧力 40 Pa
最大排気口圧力 270 Pa
排気速度※3 N2 4400 L/s
Ar 4200 L/s
H2 2600 L/s
圧縮比 N2 1×109 以上
He 9×104
H2 4×103
規定回転数 24000 rpm
起動時間 14分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
振動[弊社測定方法による] 0.01 μm以下(片振幅)
温度制御の設定温度※4 65 ~ 85 ℃
推奨ガスパージ流量※1 30 ~ 100 mL/min
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 1500 L/min以上
許容周囲温度 10 ~ 40 ℃
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
冷却水 流量 3 L/min以上
水圧 0.2~0.5 MPa
水温 19 ~ 30 ℃(露点以上)
表示 ランプ POWER / ROTATION / TEMP.CONTROL / ALARM
外部制御 接点入出力 REMOTE(D-sub 25ピン メスコネクタ、固定金具UNC 4-40)
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力:ROTATION / NORMAL / ACCELERATION / BRAKE / REMOTE / TEMP.STABLE / ALARM / WARNING
シリアルインターフェース RS-232C / RS-485(2線式)
回転数可変 ポンプ規定回転数の25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。(設定は0.1 %単位)
入力電源 電圧 単相AC 200 ~ 240 V(50 / 60 Hz)
所要電力 2.0 kVA
質量 103 kg 120 kg
  • ※1:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。(SCCM表記と等価です。)
  • ※2:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ポンプの設定温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
  • ※3:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は4000 L/sとなります。
  • ※4:温度センサのモニタ値を使い、ポンプ部温調用バルブによる冷却水をONにする温度です。なお、ヒータは設定温度-1 ℃でON/OFFします。設定温度は1 ℃刻みで変更できます。

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