標準仕様
ターボ分子ポンプ | TMP-X3806LMTC | ||
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吸気口側フランジ | VG300 | ISO320B | |
排気口側フランジ | KF40 | ||
冷却方法 | 水冷 | ||
到達圧力 (ベーキング後) | 10-7 Pa オーダ | ||
Arの最大許容流量※1 ※2 | 920 mL/min(設定温度:65 ℃) | ||
最大吸気口圧力 | 40 Pa | ||
最大排気口圧力 | 270 Pa | ||
排気速度 ※3 | N2 | 3800 L/s | 4000 L/s |
Ar | 3400 L/s | 3600 L/s | |
H2 | 2500 L/s | 2500 L/s | |
圧縮比 | N2 | 1×109 以上 | |
He | 9×104 | ||
H2 | 4×103 | ||
規定回転数 | 24000 rpm | ||
起動時間 | 14分以内 | ||
取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||
振動[弊社測定方法による] | 0.01 μm以下(片振幅) | ||
温度制御の設定温度※4 | 65 ~ 85 ℃ | ||
推奨ガスパージ流量※1 | 30 ~ 100 mL/min | ||
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 1500 L/min以上 | ||
許容周囲温度 | 10 ~ 40 ℃ | ||
許容磁束密度 | 半径方向 | 3 mT | |
軸方向 | 15 mT | ||
冷却水 | 流量 | 3 L/min以上 | |
水圧 | 0.2~0.5 MPa | ||
水温 | 19 ~ 30 ℃(露点以上) | ||
表示 | ランプ | POWER / ROTATION / TEMP.CONTROL / ALARM | |
外部制御 | 接点入出力 | REMOTE(D-sub 25ピン メスコネクタ、固定金具UNC 4-40) | |
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED | |||
出力:ROTATION / NORMAL / ACCELERATION / BRAKE / REMOTE / TEMP.STABLE / ALARM / WARNING | |||
シリアルインターフェース | RS-232C / RS-485(2線式) | ||
回転数可変 | ポンプ規定回転数の25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。(設定は0.1 %単位) | ||
入力電源 | 電圧 | 単相AC 200 ~ 240 V(50 / 60 Hz) | |
所要電力 | 2.0 kVA | ||
質量 | 109 kg | 113 kg |