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メンテナンスサービス
当社では(株)島津製作所と当社製品についてお客様のご要求に合わせた各種メンテナンスサービスを提供しています。
連絡先:最寄りの当社営業所
ヘリウムリークディテクタ(MSEシリーズ)
 
サービス内容 現地点検整備・修理及び感度校正、引取修理・点検整備
サービス拠点 瀬田・秦野
油回転真空ポンプ・メカニカルブースターポンプ
 
サービス内容 引取修理
サービス拠点 瀬田
フィールドメンテナンス
真空装置
 
対象製品
プラズマCVD装置   SLPCシリーズ(SLPC−71H/TBは除く)
PCVDシリーズ
レーザーCVD装置   LACVDシリーズ
ECR−CVD装置   SDAシリーズ・SLECシリーズ
複合型薄膜形成装置   SLCMシリーズ(SLCM-18以降は除く)
ライナコート   SLCシリーズ
スパッタ装置   HSRシリーズ・HSMシリーズ・HSDシリーズ
蒸着装置   Eシリーズ・VCシリーズ
排気装置   UHVシリーズを除く排気装置
液晶注入装置   ALISシリーズ
サービス内容 現地点検・調整・移設、引取点検・調整・修理
サービス拠点 秦野・瀬田
連絡先 最寄りの当社営業所
電動バルブアクチュエータ
 
サービス内容 現地点検整備・調整・修理、引取修理・点検整備、レトロフィット
サービス拠点 秦野・瀬田・東京
カタログ
自動弁・手動弁
 
サービス内容 現地点検整備・調整・修理、引取修理・点検整備
サービス拠点 秦野・瀬田・東京
連絡先 最寄りの当社営業所
その他の機種
 
ご購入の際の販売担当者へお問合せください。
ご依頼時のお願い
メンテナンスサービスのご依頼時には型式・製造番号をご連絡頂くようお願いします。
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