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真空機器 商品一覧
油回転真空ポンプ
  主として、中真空領域(100〜10-2Pa)での使用に適しているほか、高真空用ポンプの補助ポンプとしても使用されています。
  油回転真空ポンプ
エコロジー真空ポンプ
  必要な圧力に応じて周波数を可変することにより省エネ運転ができます。
  メカニカルブースタポンプ
ターボ分子ポンプ
  補助ポンプと組み合わせて使用し、高真空を得ることができます。
  ターボ分子ポンプ
新製品真空装置
  真空蒸着装置・スパッタリング装置、プラズマCVD装置、真空排気装置等、各種成膜装置を製作しております。
  真空装置
新製品ヘリウムリークディテクタ
  質量分析法により、微小な漏れを検出することができます。
  ヘリウムリークディテクタ
新製品高真空排気セット
  堅牢でコンパクトなベアリングタイブのターボ分子ポンプとGDHシリーズのロータリーポンプを組み合わせた高真空排気セットです。空冷式なので真空装置への組み込み、研究設備への応用など高真空環境に必要な様々な用途に対応できます。
  高真空排気セット
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