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ターボ分子ポンプ
磁気軸受形ターボ分子ポンプ(島津製作所製)
5軸制御形磁気軸受によって浮上回転させるポンプです。そのため、油潤滑機構が不要で、完全なオイルフリーを実現し、軸受寿命が理論上無限です。また一部機種を除き10-9 Paの到達圧力を達成しました。しかも低振動で、全方位への取付けも可能です。 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
空冷形
形名 TMP-203M TMP-303M TMP-403M TMP-803M TMP-1003M TMP-1503M TMP-2003M TMP-3203M
排気速L/s(N2) 190 320 420 800 1080 1500 2000 3200
最大吸気口圧力
(Pa)
1.3 0.4
到達圧力
(ベーキング後)
(Pa)
10-8 10-9 10-8 10-9
広域形
形名 TMP-203LM TMP-303LM TMP-403LM TMP-803LM TMP-1003LM TMP-1503LM TMP-2003LM TMP-3203LM
排気速L/s(N2) 190 320 420 800 1080 1500 2000 3200
最大吸気口圧力
(Pa)
200 400 133 67 40
到達圧力
(ベーキング後)
(Pa)
10-8 10-9 10-8 10-9
大流量排気ターボ分子ポンプシリーズ TMP大流量シリーズ
微細化する半導体や、基板が大形化するFPD製造工程(エッチング、CVD)に最適な広域形流量ターボ分子ポンプです。 TMP大流量シリーズ
形名 TMP-1303LMC TMP-2203LMC TMP-3403LMC TMP-4203LMC
到達圧力(ベーキング後)
(Paオーダ)
10-7
Arガスの最大流量(sccm) 2000 2200
最大吸気口圧力(Pa) 133 40 10
排気速度(L/s) N2
H2
1300
750
2140
1350
3300
2400
4000
2800
質量(kg) 34 55 70 100
磁気軸受形高圧縮比ターポ分子ポンプ TMP-1103MP/LMP
TMP-1103シリーズは水素ガスに対して高い圧縮比を有しており、残留ガス中の水素分圧が特に問題視されるスパッタプロセスに有効です。 TMP-1103MP/LMP
形名 TMP-1103MP TMP-1103LMP
冷却方法 空冷 水冷
到達圧力(ベーキング後) (Paオーダ) 10-9 10-9
連続運転時の最大排気口圧力(Pa) 1.3 70
連続運転時の最大排気口圧力(Pa) 270 800
排気速度(L/s) N2
H2
1080
800
圧縮比(L/s) N2
H2
109
108
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