産業機器
産業機械
高精度な製造装置や検査機器を開発し、先端産業分野のモノづくりをサポート。
半導体、薄型ディスプレイ、太陽電池などの製造・品質管理工程にかかわる産業機器を提供し、
最先端分野のさらなる発展に貢献しています。
●ターボ分子ポンプ ●高速スパッタリング装置
ターボ分子ポンプ
半導体や太陽電池などの製造プロセスに欠かせない真空環境を作り出すターボ分子ポンプ。世界最大級の排気能力を持つターボ分子ポンプを製品化し、高精彩化がすすむタッチスクリーンパネルや大口径化がすすむシリコンウエハなどの成膜・加工に対応しています。
SHIMADZUのターボ分子ポンプは世界各地で活躍中です。
半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造・品質管理工程は、定期的なメンテナンスが必要なため、ターボ分子ポンプのサービスネットワークを全世界に展開。お客さまのご要望にスピーディーに対応し、世界中のユーザーから厚い信頼を得ています。
高速スパッタリング装置
プラスチック製品に高速かつ高品質に、金属膜と保護膜を積層する真空成膜装置です。複雑な形状の立体物でも付きまわりが良く、高品質な成膜を実現し自動車関連部品などの製造ラインで使われています。射出成形機と連動させることにより、無人化生産にも対応しています。
油圧機器（フルイディクス）
機械や車両のキーパーツとして産業の発展に貢献する。
産業車両・建設機械や農業機械の心臓部となる油圧歯車ポンプや特装車の油圧源となるパワーパッケージなど、
高度な油圧技術を駆使した高品質な機器を提供。産業の発展に貢献しています。
●油圧歯車ポンプ ●コントロールバルブ ●パワーパッケージ
油圧歯車ポンプ
フォークリフトなどの産業車両をはじめ、建設機械、特装車、農業機械などの油圧源として、幅広く活用されています。
コントロールバルブ
複数のアクチュエータを制御することができる作業切り替え用操作バルブ。主に、フォークリフトに搭載され、荷役用（マストの昇降や、フォークのチルト機能用）に使用されています。
パワーパッケージ
油圧歯車ポンプ内蔵のコンパクト油圧ユニット。搭載車両の電源を利用して、小さいながらも大きな力を生み出します。主に、ゲート車両や高所作業車に搭載されています。
日本と中国に製造工場を展開。
高品質な油圧機器を全世界に供給しています。
デバイス・コンポーネント
光学技術と微細加工技術で機器の高性能化を支える。
分析・計測機器や医用機器、写真現像装置などの性能向上を支える光学技術と微細加工技術。
高度な技術と豊富なノウハウで素材からの加工・製造が可能です。
●回折格子 ●レーザミラー ●微小液体チップ ●レーザモジュール ●小形分光器 ●精密屈折計 ●エンジンモニタ
回折格子
さまざまな波長が混ざった光を波長ごとに分ける光学素子です。光ノイズが極めて少なく、結像特性が優れ、分析・計測・産業機器などのキーパーツとして血液分析装置や放射光施設、人工衛星による宇宙観測など幅広く利用され、先端技術の発展にも役立っています。
レーザミラー
分析用フィルターで培った成膜技術をベースに開発した世界最高クラスのレーザ耐性を有するレーザミラーです。特にYAGレーザおよびTiサファイヤレーザに優れた耐性を発揮し、レーザ加工機・レーザ溶接機等に使用され、産業の発展に役立っています。
血漿定量用マイクロサンプリングデバイス(MSW2™）
新薬の開発工程に必要なマウスの血液検体の分析において、煩雑な作業なしで微量な血漿を分離して取り出すことができます。実験者の作業性効率の向上と安定したデータ取得に貢献しています。
ファイバ結合型高輝度青色ダイレクトダイオードレーザ（BLUE IMPACT™）
複数の青色半導体レーザを、コア径の小さい光ファイバにカップリングさせて、高出力化・高輝度化を実現しました。レーザによる微細加工や直接接合、ディスプレイや照明等の光源として注目を集めています。
精密屈折計・小形分光器
屈折計は携帯電話などに搭載されているカメラレンズの測定に用いられ、画質の向上に役立っています。分光器はスマートフォン用ディスプレイの測定に用いられ、使いやすさの向上に役立っています。
高速応答ガスモニタ（EGR-chaser）
燃焼に直接関わる酸素（O2）や二酸化炭素濃度（CO2）を高速モニタリングし、自動車をはじめ、産業用エンジンの性能向上に役立っています。
