真空機器/産業機械
●ターボ分子ポンプ ●高速スパッタリング装置
半導体やディスプレイの製造に
半導体やフラットパネルディスプレイなどの製造プロセスに欠かせない真空環境をつくり出す真空ポンプです。
ターボ分子ポンプ
自動車や半導体分野で用いられるセラミックスの製造に
真空・加圧下で熱処理し、金属やセラミックス素材などを焼き固め、強度と一定の形状を得る装置です。食品の風味向上・栄養素保持技術としても注目されています。
真空加圧焼成炉
油圧機器
●油圧ギヤポンプ ●コントロールバルブ ●パワーパッケージ
産業車両や建設機械の油圧動力源
フォークリフトをはじめ、建設機械、特装車などの産業車両や農業機械の油圧源として、幅広く活用されています。
油圧歯車ポンプ
産業車両の動力系として
油圧歯車ポンプから送り出された作動油の方向、圧力、流量を制御する機器です。当社製品はフォークリフトや建設機械などで活用されています。
油圧コントロールバルブ
光学素子/分光機器/屈折計
光学技術と微細加工技術で分光分析機器などの性能向上をサポート。
高度な技術と長年にわたって蓄積した豊富なノウハウでお客様の要望に応えます。
主な製品
さまざまな波長が混ざった光を波長ごとに分ける光学素子です。光ノイズが極めて少なく、結像特性が優れ、分析・計測・産業機器などのキーパーツとして血液分析装置や放射光施設、人工衛星による宇宙観測など幅広く利用され、先端技術の発展に役立っています。
回折格子（グレーティング）