島津評論

島津評論 Vol.62 [1・2] (2005)
特集 半導体・FPD・新素材の検査/製造装置

特集論文


微小部品強度評価装置マイクロオートグラフ

金田匡規・山田洋一(分析計測事業部 試験機ビジネスユニット)

島津評論 62〔1・2〕 51〜57 (2005.9)
要旨
島津マイクロオートグラフ MST-Iは,高精度の変位測定,高い制御分解能,高剛性フレーム,微小試験力の測定などの特長を有し,電子部品,MEMS部品,マイクロマシンなど微細な試験片の強度特性や機械的特性の評価に使用される。治具を交換することにより引張試験,圧縮試験,曲げ試験,せん断試験等に対応できる。実体顕微鏡や XYステージを装着することが可能であるうえ,コの字型のフレームを採用しているため作業性が高く,微小な試験片の位置決めも容易である。
また専用のデータ処理ソフト(TRAPEZIUM)にて,試験条件の設定からデータ処理までの一連の作業をパソコンで行うことが可能である。
本稿では,本装置と応用例を紹介する。
※所属名は論文作成時のものです。
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