|
|
 |
ターボ分子ポンプ |
 |
| 5軸制御形磁気軸受によって浮上回転させるポンプです。そのため、油潤滑機構が不要で、完全なオイルフリーを実現し、軸受寿命が理論上無限です。また一部機種を除き10-9 Paの到達圧力を達成しました。しかも低振動で、全方位への取付けも可能です。 |
 |
| 形名 |
TMP-203M |
TMP-303M |
TMP-403M |
TMP-803M |
TMP-1003M |
TMP-1503M |
TMP-2003M |
TMP-3203M |
| 排気速L/s(N2) |
190 |
320 |
420 |
800 |
1080 |
1500 |
2000 |
3200 |
最大吸気口圧力
(Pa) |
1.3 |
0.4 |
到達圧力
(ベーキング後)
(Pa) |
10-8 |
10-9 |
10-8 |
10-9 |
|
| 形名 |
TMP-203LM |
TMP-303LM |
TMP-403LM |
TMP-803LM |
TMP-1003LM |
TMP-1503LM |
TMP-2003LM |
TMP-3203LM |
| 排気速L/s(N2) |
190 |
320 |
420 |
800 |
1080 |
1500 |
2000 |
3200 |
最大吸気口圧力
(Pa) |
200 |
400 |
133 |
67 |
40 |
到達圧力
(ベーキング後)
(Pa) |
10-8 |
10-9 |
10-8 |
10-9 |
|
 |
| ■大流量排気ターボ分子ポンプシリーズ TMP大流量シリーズ |
| 微細化する半導体や、基板が大形化するFPD製造工程(エッチング、CVD)に最適な広域形流量ターボ分子ポンプです。 |
 |
| 形名 |
TMP-1303LMC |
TMP-2203LMC |
TMP-3403LMC |
TMP-4203LMC |
到達圧力(ベーキング後)
(Paオーダ) |
10-7 |
| Arガスの最大流量(sccm) |
2000 |
2200 |
| 最大吸気口圧力(Pa) |
133 |
40 |
10 |
|
|
1300
750 |
2140
1350 |
3300
2400 |
4000
2800 |
| 質量(kg) |
34 |
55 |
70 |
100 |
|
|
| ■磁気軸受形高圧縮比ターポ分子ポンプ TMP-1103MP/LMP |
| TMP-1103シリーズは水素ガスに対して高い圧縮比を有しており、残留ガス中の水素分圧が特に問題視されるスパッタプロセスに有効です。 |
 |
| 形名 |
TMP-1103MP |
TMP-1103LMP |
| 冷却方法 |
空冷 |
水冷 |
| 到達圧力(ベーキング後) (Paオーダ) |
10-9 |
10-9 |
| 連続運転時の最大排気口圧力(Pa) |
1.3 |
70 |
| 連続運転時の最大排気口圧力(Pa) |
270 |
800 |
|
|
1080
800 |
|
|
109
108 |
|
|
