太陽電池反射防止膜　成膜装置 製品情報 結晶系太陽電池の反射防止膜成膜装置です。低周波CCP（容量結合プラズマ）で高温成膜することにより、高い変換効率を実現します。 第8回日本真空工業会表彰で真空装置部門賞を受賞		DLC成膜装置 製品情報 ECRプラズマを使ったECR-CVDにより、他手法に比べて、より高硬度・高密度のDLC（Diamond Like Carbon）を低温・低ダメージプロセスで成膜可能です。
SWP-CVD 製品情報 低温ラジカル反応を主体としたプロセスです。低温・低ダメージにて高密度・低応力の成膜が可能です。		ECRスパッタリング装置 製品情報 実績あるECR技術をスパッタに転用。 磁性材料の他、酸化膜、窒化膜のプロセスに期待されております。