ターボ分子ポンプ ヘリウムリークディテクタ 液体材料気化装置

成膜装置 FPD関連機器

2010.11.29

優れたバリア性と高い透明度を実現する 有機ELディスプレイ用 透明バリア膜成膜技術を開発