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ターボ分子ポンプ
ヘリウムリークディテクタ
液体材料気化装置
成膜装置
FPD関連機器
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2012.02.03
2012年2月29日(水)〜3月2日(金)第5回国際太陽電池展-PV EXPO-に出展致します。
2010.11.29
優れたバリア性と高い透明度を実現する
有機ELディスプレイ用 透明バリア膜成膜技術を開発