特集論文
カーボンナノチューブ1本による微小電界放射電子源の作製と評価
島津評論 60〔1・2〕 25～33 (2003.11)
要旨
日本で発見されたカーボンナノチューブ(CNT，Carbon Nanotube)は，化学的安定性，高い構造完全性，強靭な機械強度，高い電気伝導性等の優れた特性を有しナノテクノロジーの旗手として多くの注目を集めている。著者らは特にCNTの電界放射特性に注目し，次世代電子源・X線源としての実現性に関する評価を行った。その結果，これまで使用されてきたタングステン冷電界放射(Cold FE:Cold Field Emission)チップに比べて低い真空度でも動作するばかりでなく，光源サイズが小さいため輝度はタングステンCold FEと同等かそれ以上であることが確認できた。今後は，CNT電界放射の安定性，長寿命化により，この特徴を生かした電界放射電子銃・X線源の開発を行い，高輝度電子顕微鏡・ナノフォーカスX線源・ナノX線顕微鏡への展開をはかる。
1基盤技術研究所
2基盤技術研究所 工博
※所属名は論文作成時のものです。
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