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| ターボ分子ポンプ |
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| ご使用のプロセスや環境が以下に該当する場合、条件によってはご使用の制限や定期的オーバホールが必要となることがあります。可能性がある場合は事前に当社にご相談ください。 |
(a) ガリウムを含む特殊ガスを吸引する場合
(b) 反応性ガスを吸引する場合
(c) 大きい振動や衝撃が加わるところでご使用の場合
(d) 強磁界中に設置する場合
(e) 放射線のあたるところでご使用の場合
(f) 直接プラズマの照射を受けるところに取り付ける場合
(g) 高電圧を扱う装置でご使用の場合
(h) 頻繁に大気突入をする場合（非常停止、停電時のシーケンスにご注意）
(i) 装置の可動部分に取り付けられる場合 |
| ご不明の点は下記サービス窓口へお問い合わせ下さい。 |
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| T E L |
(075)823-1693 |
| フリーダイヤル |
0120-021-820 |
| F A X |
(075)823-3684 |
| お電話、Fax以外に下記のお問い合わせフォームもご利用頂けます。 |
 Webからのお問い合わせ |
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