ターボ分子ポンプ広域型TMP-803 真空機器/成膜装置/FPD関連機器島津製作所

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ターボ分子ポンプ

TMP-803

電源一体型

ピボット軸受型

ヘリウムリークディテクタ

液体材料気化装置

FPD関連機器

ターボ分子ポンプ

広域型（03）シリーズ

TMP-803

ポンプ本体標準仕様

ターボ分子ポンプ	広域型 TMP-803LM	広域ケミカル型 TMP-803LMC	空冷型 TMP-803M	空冷ケミカル型 TMP-803MC
冷却方法	水冷		空冷
到達圧力（ベーキング後）Pa	10^-9オーダ（注1）	10^-8オーダ（注1）	10^-9オーダ（注1）	10^-8オーダ（注1）
最大吸気口圧力　Pa	400Pa		1.3Pa
最大排気口圧力　Pa	665Pa		40Pa
排気速度（注2） N₂ He H₂	800L/s 800L/s 700L/s		800L/s 800L/s 700L/s
圧縮比 N₂ He H₂	10⁹以上 8×10⁴ 4×10³		10⁹以上 8×10⁴ 4×10³
規定回転数	35000rpm		35000rpm
起動時間	5分以内		5分以内
取付方向	全方位取付け可能		全方位取付け可能
ポンプ吸気口ベーキング温度	120℃以下		120℃以下
振動［当社測定方法による］	0.01μm以下		0.01μm以下
質量	31kg		31kg
推奨ガスパージ流量	20～30mL/min		20～30mL/min
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度	500L/min以上		500L/min以上
許容雰囲気温度	0～40℃		0～40℃
許容磁束密度半径方向軸方向	3mT 15mT		3mT 15mT
冷却水流量　L/min 水圧　MPa 水温　℃	1～3 0.2～0.5 5～30		--- --- ---

（注1）	吸気口フランジに金属ガスケットを使用した場合の値です。 Oリングガスケットを使用した場合は、ベーキング後の到達圧力は10^-7Paオーダとなります。
（注2）	保護ネットなしの場合の値です。

電源装置標準仕様

電源装置		EI-R04M
バッテリ		不要
組合せ互換性		ポンプ,電源装置,ケーブルの組合わせを変えた時の再調整が不要
回転数可変		規定回転数の25%～100%の間で，運転回転数の変更が可能
外部通信	接点入出力	REMOTE（MR-34）入力：START / STOP / RESET / LOW SPEED 出力：ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL 　　　 REMOTE / ALARM / WARNING
外部通信	シリアル通信	RS-232C（D-sub 9 ピンオス，固定金具 M2.6） RS-485（D-sub 9 ピンメス，固定金具 M2.6）
周囲条件	温度	動作時 0～45℃（結露しないこと）
周囲条件	湿度	40 ～ 80 ％RH
入力電源	電圧	単相AC200～240 V ±10 ％（50/60 Hz±2Hz）
入力電源	最大所要電力	1.0kVA
質量		8kg

※反応生成物対応型（温度調節機能付き）もご用意できます。詳細についてはお問合せください。