ターボ分子ポンプ

広域型（03）シリーズ

・ 広域型で大流量排気 ・ ディジタル電源対応 ・ 各種モニタ機能 ・ ネットワーク接続対応 ・ CEマーキング、SEMI S2、NRTLに適合

広域型（03シリーズ）ラインナップ