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| ターボ分子ポンプ |
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| PT-150 |
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| ターボ分子ポンプ |
PT-150 |
| 冷却方法 |
空冷/水冷 |
到達圧力
（ベーキング後）Pa |
10-8オーダ |
フランジ口径
吸気口
排気口 |
JIS VG100
NW25 |
排気速度
N2
H2 |
190L/s
160L/s |
圧縮比
N2
H2 |
108以上
104 |
| 最大吸気／排気口圧力 Pa |
0.13/13 |
| 規定回転数 |
72000rpm |
| 起動／停止時間 |
約3/4分 |
| 軸受方式 |
上部 |
磁気軸受 |
| 下部 |
ピボット軸受 |
| 潤滑油及び油量(mL) |
ふっ素油／約10 |
ポンプ吸気口
ベーキング温度 |
90℃以下 |
| 質量 |
約6kg |
| 標準補助ポンプ(L/min) |
100 |
冷却水
接続口/流量 L/min
入出口必要圧力差 MPa |
Rc 1/4／≧0.5
＞0.01 |
| 定格周波数 |
約1200 |
電源電圧(50/60Hz)±10％
最大所要電力 |
単相AC100〜240V
0.54kVA |
| 質量 |
約3.9kg |
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