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PRODUCT 真空機器/FPD製造装置
 
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ターボ分子ポンプ
  高圧縮型(高圧縮比シリーズ)
TMP-1103
ポンプ本体標準仕様
ターボ分子ポンプ TMP-1103LMP TMP-1103LMPC TMP-1103MP TMP-1103MPC
冷却方法 水冷 空冷
到達圧力
(ベーキング後)(注1)
10-9Paオーダ 10-8Paオーダ 10-9Paオーダ 10-8Paオーダ
最大吸気口圧力 Pa 70Pa 1.3Pa
最大排気口圧力 Pa 800Pa 270Pa
排気速度(注2)
N2
Ar
H2
1080L/s
1040L/s
800L/s
圧縮比
N2
He
H2
109以上
107
106
規定回転数 36000rpm
起動時間 5分以内
取付方向 全方位取付け可能
ポンプ吸気口
ベーキング温度
120℃以下
振動
[当社測定方法による]
0.01μm以下(片振幅)
質量 32kg以下
推奨ガスパージ流量 20〜30SCCM
許容雰囲気温度 0〜40℃
許容磁束密度
半径方向
軸方向
3mT
15mT
冷却水
流量 L/min
水圧 MPa
水温 ℃
1〜3
0.2〜0.5
5〜30
---
---
---
ローターの耐食性コーティング なし あり なし あり
(注1) 吸気口フランジに金属ガスケットを使用した場合の値です。
Oリングガスケットを使用した場合は、ベーキング後の到達圧力は10-7Paオーダとなります。
(注2) 保護ネットなしの場合の値です。
電源装置標準仕様
電源装置 EI-R04M
バッテリ 不要
組合せ互換性 ポンプ,電源装置,ケーブルの組合わせを変えた時の再調整が不要
回転数可変 規定回転数の25%〜100%の間で,運転回転数の変更が可能
外部通信 接点入出力 REMOTE(MR-34)
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL
    REMOTE / ALARM / WARNING
シリアル通信 RS-232C(D-sub 9 ピンオス,固定金具 M2.6)
RS-485(D-sub 9 ピンメス,固定金具 M2.6)
周囲条件 温度 動作時 0〜45℃(結露しないこと)
湿度 40 〜 80 %RH
入力電源 電圧 単相AC200〜240 V ±10 %(50/60 Hz±2Hz)
最大所要電力 1.0kVA
質量 8kg
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