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水素圧縮比が106
スパッタープロセスで有害な水素分圧の上昇を防止。補助ポンプの共用が可能です。 |
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バッテリーレス磁気浮上のターボ分子ポンプ
電源装置はメンテナンスフリーです。 |
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コンパクトなポンプ本体、電源装置
電源装置はハーフラックサイズです。 |
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チューニングフリー
ポンプ、電源装置、ケーブルの組合せは互換性があり、交換が容易です。 |
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RS-232C準拠のシリアルインターフェースを標準装備
回転数とモーター電流のモニターによって、排気系の異常の早期発見が容易です。 |
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CEマーキング、SEMI-S2、NRTLに適合 |
