| 形名 |
TMP-3304LM(xV) |
| 吸気口側フランジ |
VG350 / VG300 / ISO320B |
| 排気口側フランジ |
KF40 |
| 質量 |
100 kg |
| 到達圧力（ベーキング後） |
10-7 Paオーダ |
N2連続運転時の最大吸気口圧力
（注1） |
40 Pa |
N2連続運転時の最大排気口圧力
（注1） |
270 Pa |
排気速度
（注2）（注3） |
N2 |
3200 L/s |
| Ar |
3100 L/s |
| 圧縮比 |
N2 |
1×109 以上 |
| He |
1×105 |
| H2 |
6×103 |
| 規定回転数 |
27,600 rpm |
| 起動時間 |
16分以内 |
| 取り付け方向 |
全方位取り付け可能 |
| 振動 ［当社測定方法による］ |
0.01 μm 以下（片振幅） |
| 推奨補助ポンプの排気速度 |
1500 L/min 以上 |
| 表示 |
LED |
POWER / STATUS / ROTATION / NET |
| 外部制御 |
接点入出力 |
REMOTE（D-sub 37ピン メスコネクタ，固定金具M2.6）
入力：START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力：ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL
REMOTE / ALARM / WARNING |
| シリアル通信 |
RS-232C / RS-485（D-sub 9ピンオス，固定金具M2.6） |
| 回転数可変 |
ポンプ規定回転数の25%〜100%の間で，
運転回転数の変更が可能。（設定は0.1 %単位） |
| 冷却水 |
流量 |
3 〜 4 L/min（純水でないこと） |
| 水圧 |
0.2 〜 0.5 MPa |
| 水温（注5） |
19 〜 30 ℃（露点温度以上であること） |
| 許容磁束密度 |
半径方向 |
3 mT |
| 軸方向 |
15 mT |
| 入力電源 |
電圧 |
単相 AC 200 〜 240 V ± 10 %（50 / 60 Hz ± 2 Hz） |
| 最大所要電力 |
1.2 kVA |
