|
|
 |
| ターボ分子ポンプ |
|
|
|
|
|
| FT-800W |
|
| ターボ分子ポンプ |
FT-800W |
| 冷却方法 |
水冷 |
到達圧力
（ベーキング後）Pa |
10-7オーダ |
| N2最大吸気口圧力(最大流量時) Pa |
38Pa |
| N2最大排気口圧力(最大流量時) Pa |
290Pa |
| N2最大排気口圧力(100SCCM時) Pa |
510Pa |
| N2連続運転最大流量 SCCM(Pa L/s) |
1800 (3030) |
| Ar連続運転最大流量 SCCM(Pa L/s) |
700 (1180) |
フランジ口径
吸気口
排気口 |
JIS VG150
NW40 |
JIS VG200
NW40 |
排気速度
N2
H2 |
810L/s
530L/s |
1000L/s
570L/s |
圧縮比
N2
H2 |
109以上
4×103 |
| 動翼表面処理 |
ニッケルめっき |
| 規定回転数 |
36000rpm |
| 起動／停止時間 |
約6/10分 |
| 軸受方式 |
5軸制御磁気軸受 |
ポンプ吸気口
ベーキング温度 |
120℃以下 |
| ガスバージ口/導入量 SCCM (Pa L/s) |
NW 10/25(42) |
| 質量 |
約28kg |
| 標準補助ポンプ(L/min) |
800 |
冷却水
接続口/流量 L/min
入出口必要圧力差 MPa |
Rc 3/8／≧3
〜0.05 |
| 定格周波数 |
600 |
| 周囲条件 |
0〜40℃ |
電源電圧(50/60Hz)±10％
最大所要電力 |
単相AC200〜240V
1.2kVA |
| 質量 |
約10kg |
| ※反応生成物対応形（温度調節機能付き）もご用意できます。詳細についてはお問合せ下さい。 |
 |
|
