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| ターボ分子ポンプ |
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| FT-6300WH |
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| ターボ分子ポンプ |
FT-6300WH |
| 冷却方法 |
水冷 |
到達圧力
（ベーキング後）Pa |
10-8オーダ |
| N2最大吸気口圧力(最大流量時) Pa |
0.64Pa |
| N2最大排気口圧力(最大流量時) Pa |
160Pa |
| N2連続運転最大流量 SCCM(Pa L/s) |
1400 (2359) |
| Ar連続運転最大流量 SCCM(Pa L/s) |
1400 (2359) |
フランジ口径
吸気口
排気口 |
JIS VG500
NW40 |
排気速度
N2
H2 |
6300L/s
5000L/s |
圧縮比
N2
H2 |
1×1010以上
4×104 |
| 動翼表面処理 |
無処理 |
| 質量 |
約205kg |
| 標準補助ポンプ(L/min) |
1500 |
冷却水
接続口/流量 L/min
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Rc 3/8／≧3 |
| 周囲条件 |
0〜40℃ |
電源電圧(50/60Hz)±10％
最大所要電力 |
単相AC200〜240V
2.1kVA |
| 質量 |
約10kg |
| ※反応生成物対応形（温度調節機能付き）もご用意できます。詳細についてはお問合せ下さい。 |
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