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| ターボ分子ポンプ |
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| FT-3301W |
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| ターボ分子ポンプ |
FT-3301W |
| 冷却方法 |
水冷 |
到達圧力
（ベーキング後）Pa |
10-7オーダ |
| N2最大吸気口圧力(最大流量時) Pa |
8Pa |
| N2最大排気口圧力(最大流量時) Pa |
180Pa |
| N2最大排気口圧力(100SCCM時) Pa |
510Pa |
| N2連続運転最大流量 SCCM(Pa L/s) |
1500 (2530) |
| Ar連続運転最大流量 SCCM(Pa L/s) |
1300 (2190) |
フランジ口径
吸気口
排気口 |
JIS VG250
NW40 |
JIS VG300
NW40 |
JIS VG350
NW40 |
排気速度
N2
H2 |
2350L/s
2130L/s |
2900L/s
2350L/s |
3300L/s
2400L/s |
圧縮比
N2
H2 |
108以上
8×103 |
| 動翼表面処理 |
ニッケルめっき |
| 規定回転数 |
21600rpm |
| 起動／停止時間 |
約12/16分 |
| 軸受方式 |
5軸制御磁気軸受 |
ポンプ吸気口
ベーキング温度 |
120℃以下 |
| ガスバージ口/導入量 SCCM (Pa L/s) |
NW 10/50(84) |
| 質量 |
約90kg |
| 標準補助ポンプ(L/min) |
1500 |
冷却水
接続口/流量 L/min
入出口必要圧力差 MPa |
Rc 3/8／≧3
〜0.05 |
| 定格周波数 |
360 |
| 周囲条件 |
0〜40℃ |
電源電圧(50/60Hz)±10％
最大所要電力 |
単相AC200〜240V
2.1kVA |
| 質量 |
約10kg |
| ※反応生成物対応形（温度調節機能付き）もご用意できます。詳細についてはお問合せ下さい。 |
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