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数十Pa から 10-8Pa までの広域大流量排気
大流量ガス処理を可能とする広い運転領域。
複合(軸流+ネジ)動翼採用 |
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制御磁気軸受採用で取付方向自在、低振動・低騒音、完全オイルフリー |
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取付方向自在実現
制御余裕大、高性能の制御磁気軸受を独自開発。 |
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豊富な経験と実績に基づく安全工学設計
万一のロータ破損時にも安心な頑丈構造。
震度V(強震)以上に耐える耐震性能。
強固な大気突入耐力。
制御磁気軸受の弱点を克服した耐ノイズ性能。
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ハードプロセスに対応する優れた耐腐食表面処理 特許出願中
特殊電着コート（耐腐食プロセス特殊表面処理）。
Ar大流量化。
大幅な耐食性向上を実現。 |
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チューニングフリー
本体とパワーサプライを同一機種間では自由に交換できるチューニングフリーシステム。 |
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バッテリーフリー
停電時にもロータ自身の回転による自己発電でロータを浮上させるバッテリーフリーシステム。 |
