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| ターボ分子ポンプ |
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| FT-3500D |
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| ターボ分子ポンプ |
FT-3500D |
| 冷却方法 |
水冷 |
到達圧力
（ベーキング後）Pa |
10-7オーダ |
| Ar最大吸気口圧力(最大流量時) Pa |
2.1Pa |
| Ar最大排気口圧力(最大流量時) Pa |
13300Pa |
| Ar連続運転最大流量 SCCM(Pa L/s) |
2000 (3360) |
フランジ口径
吸気口
排気口 |
JIS VG250
NW40 |
JIS VG350
NW40 |
排気速度
N2 |
2300L/s |
3270L/s |
圧縮比
N2
H2 |
5×109以上
1×106 |
| 動翼表面処理 |
ニッケルめっき＋黒色ニッケルめっき |
| 質量 |
約88kg |
| 標準補助ポンプ(L/min) |
800 |
冷却水
接続口/流量 L/min
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Rc 3/8／≧3 |
| 周囲条件 |
0〜40℃ |
電源電圧(50/60Hz)±10％
最大所要電力 |
単相AC200〜240V
2.3kVA |
| 質量 |
約11kg |
| ※反応生成物対応型（温度調節機能付き）もご用意できます。詳細についてはお問合せください。 |
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