ターボ分子ポンプ

FT-D型

・ 高背圧性能6倍向上 補助排気系の小型化・・コストダウンが可能です。 ・ 同一圧力での排気流量アップ 歩留まり向上に効果的です。 ・ コンパクトなポンプ本体、電源装置 電源装置はハーフラックサイズです。 ・ 高放射Ni複合めっき採用により、大流量排気可能 特許出願中 ・ 運転可能範囲大幅拡大 φ300mmのすべてのプロセスに適用可能です。

FT-D型ラインナップ