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| ターボ分子ポンプ |
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| TMP-4304 |
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| ターボ分子ポンプ |
TMP-4304LMC |
| 到達圧力（ベーキング後） |
10-7Paオーダ |
| Arガスの最大流量 |
1900 mL/min |
| 最大吸気口圧力(N2ガス) |
40Pa |
| 最大排気口圧力 |
270Pa |
排気速度（注1）
N2
Ar
H2 |
4400L/s
4300L/s
2600L/s |
圧縮比
N2
He
H2 |
1×109 以上
1×105
6×103 |
| 規定回転数 |
24,000rpm |
| 起動時間 |
18分以内 |
| 取付方向 |
全方位取付け可能 |
| 振動［当社測定方法による］ |
0.01 μm 以下（片振幅） |
| 標準吸気口側フランジ |
VG350（注2） |
| 排気口側フランジ |
KF40 |
| 質量 |
105kg |
| 推奨ガスパージ流量 |
30 mL/min（注3） |
ガスパージ時の
推奨補助ポンプの排気速度 |
1500 L/min 以上 |
| 許容雰囲気温度 |
5〜40 ℃ |
許容磁束密度
半径方向
軸方向 |
3mT
15mT |
冷却水
流量 L/min
水圧 MPa
水温 ℃ |
2〜4 L/min
0.2〜0.5 MPa
5〜25 ℃ |
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| （注1） |
保護ネットなしの場合の値です。
保護ネットを使用した場合はN2 ガスに対する排気速度は、
VG350：4000L/s となります。 |
| （注2） |
mL/min は0℃ 1 気圧での体積流量で表示しています。（SCCM 表記と等価です。） |
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| 電源装置 |
EI-R04M |
| バッテリ |
不要 |
| 組合せ互換性 |
ポンプ,電源装置,ケーブルの組合わせを変えた時の再調整が不要 |
| 回転数可変 |
規定回転数の25%〜100%の間で，運転回転数の変更が可能 |
| 外部通信 |
接点入出力 |
REMOTE（MR-34）
入力：START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力：ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL
REMOTE / ALARM / WARNING |
| シリアル通信 |
RS-232C（D-sub 9 ピンオス，固定金具 M2.6）
RS-485（D-sub 9 ピンメス，固定金具 M2.6） |
| 周囲条件 |
温度 |
動作時 0〜45℃（結露しないこと） |
| 湿度 |
40 〜 80 ％RH |
| 入力電源 |
電圧 |
単相AC200〜240 V ±10 ％（50/60 Hz±2Hz） |
| 最大所要電力 |
1.5kVA |
| 質量 |
8kg |
| ※反応生成物対応型（温度調節機能付き）もご用意できます。詳細についてはお問合せください。 |
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