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各種モニタ機能
フロントパネルの液晶表示器に、電流、回転数、アンバランス量の表示および、発生異常等を表示。 メンテナンスコールタイマを装備。さらにRS-232Cポートを前パネルに装備し、運転状態のままパソコンに運転情報を取り込むことができます。通常状態と比較いただくことにより、異常（反応生成物の付着などによる背圧上昇）の早期発見など、システムの予防保全に貢献します。 |
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ネットワーク接続対応
RS-232C及びRS-485準拠のシリアル通信ポートを装備し、ポンプの起動/停止の他、運転状況の監視、運転履歴の読み出しが可能。最大32台までのポンプを一台のコンピュータで監視できます。
オプションのモニタソフトウェアにより、複数台のポンプの一括モニタが可能です。 |
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ポンプ回転数可変機能
ポンプの回転数を25−100%の範囲で設定する事ができ、ポンプの排気性能を調整できます。回転数設定により、チャンバー圧力の調整に応用できます。一定条件でご使用の場合は、コンダクタンスバルブの削減も可能です。 |
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消費電力削減 |
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各種規格に適合
CEマーキング、
NRTL (UL61010A-1)
SEMI S2
SEMI F47
SEMI E74対応 |
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その他の特長
チューニングフリー
ポンプ・ケーブル交換時の電源装置の再調整は不要です。
バッテリーレス
停電時は回生電力で磁気浮上を継続し、タッチダウンベアリングの消耗を軽減します。 |
