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ターボ分子ポンプ
広域型
大流量型
高圧縮型
電源一体型
FT-W/WH型
ピボット軸受型
FT-D型
ヘリウムリークディテクタ
液体材料気化装置
成膜装置
FPD関連機器
ターボ分子ポンプ
半導体・FPD製造プロセスを代表として、幅広い分野に応用されています。
磁気軸受型ターボ分子ポンプ
広域型
製品情報
TMP-203
TMP-303
TMP-403
TMP-803
TMP-1003
大流量型
製品情報
TMP-1303LM/LMC
TMP-1503LM/LMC
TMP-2203LM/LMC
TMP-2804LM/LMC
TMP-3304LM/LMC
TMP-3804LMC
TMP-4304LMC
高圧縮型
製品情報
TMP-1103
FT-W/WH型
製品情報
FT-480W
FT-800W
FT-1400W
FT-2300W
FT-3301W
FT-480WH
FT-800WH
FT-2001WH
FT-6300WH
FT-D型
製品情報
FT-3500D
電源一体型
製品情報
TMP-V2304LM
TMP-3304LM(xV)
ピポット軸受型ターボ分子ポンプ
ピボット軸受型
製品情報
PT-50
PT-150
PT-300
PT-500
PT-1500
ターボ分子ポンプのご使用にあたって
詳しくはコチラ
磁気軸受型ターボ分子ポンプをご採用いただくにあたって、末永く安全に取り扱っていただくため、事前にご確認いただくようお願い申しあげます。
サービスセンター
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島津製作所では、お客様からのお問い合わせをお受けするサービスセンターを設けております。
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