当社で長年取り組んできた太陽電池反射防止膜成膜装置は、低周波CCP（容量結合プラズマ）で高温成膜することにより、パシベーション効果を高め、世界トップ水準の変換効率を実現します。当社のSLPCシリーズは、世界トップレベルの太陽電池メーカに多数の実績を誇り、豊富な経験を培っています。