ヘリウムリークディテクタ真空機器/成膜装置/FPD関連機器島津製作所

ヘリウムリークディテクタ

安全かつ簡単に微少リークを検出する質量分析型
ヘリウムリークディテクタ

検出感度：10^-12 ～10⁰Pa・m³/s［He］

製品単価：2,400,000円

検出感度：10^-12～10⁰Pa・m³/s［He］

製品単価：5,000,000円

検出感度：10^-12～10⁰Pa・m³/s［He］

製品単価：3,500,000円

ヘリウムリークディテクタの先駆け
「島津MSEシリーズ」の特長

島津製作所は国産1 号機の開発以来、高感度・低バックグラウンドでありながら、大きな漏れを検出した後の”優れたバックグラウンド回復能力”を有する製品を開発･提供することで、実験用途から生産設備にいたる幅広い分野にて支持されてきました。

ヘリウムリークディテクタは、1気圧で1cm³を占める量の空気が漏れるのに要する時間が約6000年という程の微少量（5×10^-13Pa・m³/s[Air]）のリークも検出できます。リークテストとしては、最も微少な漏れを検出できる漏れ検査装置です。

ヘリウムガスを用いたリーク検出の利点

1.	空気中に含まれるヘリウムの量が5ppm と他のガスに比べて少なくバックグラウンドの影響を受けにくい。
2.	ヘリウム分子の直径が小さく、微少な漏れも検出できる。
3.	不活性ガスであるため、人体や試験対象物に無害であり環境も汚染しないため取扱いが容易。

基本的なヘリウムリークテストの方法

真空吹付け法、真空フード法、スニッファー法、ボンビング法があります。

広範な用途

設備配管の漏れから電子デバイスの漏れまで様々なところで使用されています。用途によって必要なテストチャンバやマニホールドについては具体的にお問い合わせください。