改善・用途事例
素子
- 高品質な回折格子を安定供給してほしい。
・光分析装置の検査不合格による手戻りを削減 - 光をロスなく装置や検出器に入射したい。
・膜厚測定装置の測定時間の短縮 - 白色光を一定の割合で均質に分けたい。
装置
- 光学素子の反射率測定を高い波長分解能でおこないたい。
- モノクロメータ分光器の故障によるダウンタイムを減らしたい。
- 大面積の光学素子の光学特性を測定したい。
ユーザーインタビュー
- ラミナー型レプリカ回折格子（真空紫外・軟X線領域用）
高次高調波用分光器 ～その設計・製作に求められる回折格子の要件とは～
