特集！ 軟X線、高次高調波向け回折格子 ユーザーインタビュー記事 はこちら
Laminar-type Replica Diffraction Gratings for Soft X-ray Region
溝形状 AFM写真（溝深さは強調してあります）
- 真空紫外領域（VUV）から軟X線領域の収差補正型フラットフィールドポリクロメータ用凹面ラミナーレプリカ回折格子です。0.6nm～200nmの波長に対応した幅広いライナップを取り揃えております。
- ラミナー形状による高次光の少なさ、ホログラフィック法による迷光の少なさ、さらに、非球面波露光法による収差補正機能での高分解能を備えた回折格子です。
- アレイ型検出器と組み合わせることにより、簡単に分光器としてお使いいただけます。
- 発光分光や、軟X線光源のモニタリングとして、お使いいただけます。
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アプリケーション例
- 高次高調波発生測定用分光器 回折格子ユーザーインタビュー記事はこちら
- VUV/XUV（EUV）/軟X線用分光器
関連論文
ラミナー型回折格子の回折効率 島津評論 Vol.64 [1・2] (2007)
実績
製品リスト
| コード番号 | 旧コード番号 | 溝本数 | 波長範囲 | 検出器長 | 設計マウントパラメータ | 外形寸法 | コーティング | コード番号 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| N (本/mm) |
λ1-λ2 (nm) |
L (mm) |
r (mm) |
α (deg.) |
r1’ (mm) |
β1 (deg.) |
r2’ (mm) |
β2 (deg.) |
ri’ (mm) |
βi (deg.) |
WxHxT (mm) |
材質 | |||
| L0120- 50-200 |
30-007 | 120 | 50-200 | 25.3 | 237.0 | 87.00 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235.0 | 90.00 | 50x30x10 | Au | L0120- 50-200 |
| L0300- 20-80 |
30-006 | 300 | 20-80 | 25.3 | 237.0 | 87.00 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235.0 | 90.00 | 50x30x10 | Au | L0300- 20-80 |
| L1200- 5-20 |
30-002 | 1200 | 5-20 | 25.3 | 237.0 | 87.00 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235.0 | 90.00 | 50x30x10 | Au | L1200- 5-20 |
| L1200- 4-9-NI |
30-005 | 1200 | 3.5-8.5 | 11.1 | 237.0 | 87.07 | 234.8 | 83.98 | 236.2 | 81.30 | 233.5 | 90.00 | 50x30x10 | Ni | L1200- 4-9-NI |
| L2400- 1-4 |
30-004 | 2400 | 0.6-4 | 19.4 | 236.8 | 88.65 | 233.9 | 86.64 | 235.8 | 81.94 | 233.5 | 90.00 | 50x30x10 | Au | L2400- 1-4 |
| L2400- 1-6 |
30-001 | 2400 | 1-6 | 23.5 | 237.0 | 88.65 | 235.6 | 85.81 | 238.5 | 80.17 | 235.0 | 90.00 | 50x30x10 | Au | L2400- 1-6 |
| L2400- 1-7 |
30-003 | 2400 | 1-7 | 26.8 | 236.7 | 88.60 | 235.8 | 85.79 | 239.5 | 79.39 | 235.0 | 90.53 | 50x30x10 | Au | L2400- 1-7 |
| L0500- 27-135 |
30-009 | 500 | 27-135 | 68.5 | 379.0 | 80.00 | 372.7 | 76.24 | 394.6 | 66.54 | 362.0 | 90.00 | 50x30x10 | Au | L0500- 27-135 |
| L1500- 9-45 |
30-008 | 1500 | 9-45 | 68.5 | 379.0 | 80.00 | 372.7 | 76.24 | 394.6 | 66.54 | 362.0 | 90.00 | 50x30x10 | Au | L1500- 9-45 |
| L3600- 1-6 |
- | 3600 | 1-6 | 70.0 | 564.0 | 88.60 | 565.4 | 84.94 | 575.8 | 77.99 | 563.2 | 90.00 | 70x40x12 | Au | L3600- 1-6 |
分光系配置図
分光系配置図
外形図
外形図
標準仕様
| 種別 | 不等間隔曲線溝ラミナーレプリカ回折格子※1 |
|---|---|
| ブランク材質 | BK7相当品 |
| 外形寸法許容差(mm) | ±0.2(W) × ±0.2(H) |
| 中心厚許容差(mm) | ±0.5(T) |
| 有効領域(mm) | 外形の周囲5mmを除く全面 |
| 溝本数許容差 | ±0.5% |
| キズ | 80-50 (MIL-O-13830A準拠) |
- ※1:格子溝は樹脂にて形成されています。
- ※RoHS指令（10物質）対応品
- 結露は光学特性を著しく劣化させる要因になりますのでお避けください。
- 外観及び仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。