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2025年4月21日 | プレスリリース
走査電子顕微鏡「SUPERSCAN SS-3000」3機種を発売
TESCAN社との共同ブランド「Shimadzu by TESCAN」第2弾
製品写真：走査電子顕微鏡「SUPERSCAN SS-3000」
- ※写真はオプションを含み、大型試料チャンバーモデルです。
島津製作所は4月21日に走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope、以下SEM）、「SUPERSCAN SS-3000」3機種を日本国内で発売しました。業務提携を結ぶ、走査電子顕微鏡メーカーであるチェコ共和国のTESCAN社との共同ブランド「Shimadzu by TESCAN」の新機種です。「SUPERSCAN SS-4000」が持つ基本光学系や機能を踏襲しつつ、ビーム減速機構を標準で備えた機種となります。「SS-3000」は材料の物性評価を含めた幅広い研究開発用途に適しています。当社は日本語対応のソフトウェアやマニュアルを整備して、分析・操作から保守・点検・修理などのアフターサービスまでトータルでのサポートを提供します。
電子顕微鏡はナノ領域の表面観察が可能な、科学技術の研究で必須の装置です。「電子線を試料に照射し、試料から発生する二次電子や反射電子を検出して表面の形状や組成の違いを観察」という原理のため、従来は帯電しやすい（非導電性）試料の観察が困難でしたが、「SUPERSCAN SS」シリーズは、帯電を抑制できる低加速での観察が可能で、セラミックや樹脂など非導電性試料に対して最適な解像度とコントラストの画像が得られます。また、観察時の電圧・電流変更におけるビーム特性変化により生じる画像の明るさやフォーカス、観察中心位置のズレが自動調整されるため業務効率が向上します。同シリーズは、元素分析、電子後方散乱回折、化合物分析、化学結合種分析など約20種類の分析オプションに対応できる拡張性と、専用ソフトウェア「Essense」による高い操作性を実現しています。島津製作所は、「Shimadzu by TESCAN」を通じて、様々な研究開発向けに付加価値の高いソリューションを提供していきます。
新製品の特長
1. 独自の光学系による高分解能観察
最上位機種「SS-4000」のベースとなる独自の光学系により、非導電性材料やビームに弱い材料に対して前処理なく微細な観察が可能です。専用ソフトウェアの光学系制御により、電圧・電流変更によって生じる画像の明るさやフォーカス、観察位置のズレを自動調整するIn Flight Beam Tracingにより分析ワークフローを削減できます。
2. 低真空でクリアな画像を実現
非導電性試料を観察するには帯電によるチャージアップ現象の防止のために低真空状態が必要です。本製品では1～700Paまでの低真空範囲に対応可能です。一般的なSEMでは低真空において窒素ガスを用いますが、本製品では信号増幅率の大きい水蒸気雰囲気による独自の検出システムを採用しているため、低真空での高感度観察に有効です。
3. 豊富な分析オプションと高い操作性
元素分析、結晶方位解析、化合物分析、化学結合種分析など約20種類の分析オプションに対応可能です。また、元素分析など専用のソフトウェア「Essence」によって統合されたシステムにより高いユーザビリティを実現しています。
- ※In Flight Beam TracingはTESCAN社の登録商標になります。
- ※特長2. 3.の一部は大型試料モデルでの対応となります。
| 製品名 | 走査電子顕微鏡「SUPERSCAN SS-3000」 |
|---|---|
| 希望販売価格 | SS-3000 LMS 高真空と固定低真空モードを備えた標準チャンバータイプ 7220万円～（税込み） SS-3000 LMU 高真空と可変低真空モードを備えた標準チャンバータイプ 8320万円～（税込み） SS-3000 GMU 高真空と可変低真空モードを備えた大型チャンバータイプ 8920万円～（税込み） |
| 販売目標 | 年間15台 |
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