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ディレイラインディテクター（DLD）システム
ディレイライン技術を応用した次世代の新検出器システムを採用しました。この検出器をスペクトルとイメージ双方の測定に用います。どちらの測定モードにおいても正確なパルスカウンティングが可能となりました。
スペクトルモードでは、100チャンネル同時検出による高感度測定に加え、アナライザーのエネルギーをスキャンせずにナロースペクトルを瞬間的に測定できるスナップショットモード測定が可能となりました。
イメージングモードにおいては、256×256画素によるイメージング分解能3μm以下の高分解能イメージング測定が可能です。 |
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パラレルイメージングと微小部スペクトル
軌道半径165 mmの大型静電半球アナライザーとイメージング専用球面鏡アナライザー（Kratos特許）を組み合わせたハイブリッドアナライザーを採用しています。
化学状態分析、深さ方向分析などのスペクトル分析時は、大型の静電半球アナライザーを使用してエネルギー分解能の良いスペクトルを高感度に測定します。マルチポイント微小部測定はインプットレンズ内の光電子ディフレクションシステムを使用し、正確なポイント分析を可能とします。
パラレルイメージ測定時は球面鏡アナライザーを使用します。3μm以下の空間分解能を持つ光電子イメージが、スペクトル測定時と同様のエネルギー分解能で、しかも非常に短時間で得られます。 |
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全自動試料ハンドリング機構
オプティカルエンコーダーを採用したリニアモーションドライブにより、スムーズで正確な試料移動を実現しました。試料台は直径約110 mmの大型試料台を採用し、それを3枚まで予備排気室にストックできます。3枚の試料台は無人運転中であっても全自動で交換することが可能です。 |
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試料ナビゲーションシステム
予備排気室と測定室に配置されたツインCCTVカメラによって試料の光学像を撮影し、測定位置を簡単・正確に設定することができます。
どちらのカメラも試料真上から観察するよう設置されており、インプットレンズの軸と平行な光学像が得られます。よって、測定データと光学像はリンクされ、分析位置がわかりやすくなります。 |
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優れた中和機構による高エネルギー分解能
スノーケルレンズとリフレクターを用いた独自の帯電中和機構を装備し導体・絶縁物を問わず、優れたエネルギー分解能を達成しています。試料組織による帯電の違い、ローカルチャージも完全に補正しますのでスペクトル分析ばかりでなくイメージングでも高いデータの信頼性が保証されています。 |
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