近年の半導体デバイスに象徴されるように材料の性質・機能を左右する部位は、ますます薄く、そして微細になっています。したがってそれを評価する分析装置もマイクロ分析の能力が不可欠なものとなっています。AXISシリーズは従来のXPSでは考えられなかったμmオーダーの局所を確実に狙って分析ができる装置です。ESCA-3400はその操作性の良さから、品質管理・製造管理にも適した装置です。   ◆AXIS Nova [新製品] ◆AXIS-ULTRA DLD [新製品] 詳細製品案内>> 詳細製品案内>> AXISシリーズ最高の性能と自動分析機能をパッケージングしたXPS装置 高速リアルタイムイメージングおよび均一帯電中和機構に代表されるAXISテクノロジーと、高機能・高精度な試料ハンドリングシステムを統合しました。 新型検出器の採用により、従来機よりも感度をアップさせ、かつ分析エリアは最小15μmまで対応し、測定の自動化およびスループットの向上を実現しました。 AXISシリーズ最高の性能とマルチな表面分析手法の複合を可能としたXPSの最高峰 高速リアルタイムイメージング（分解能3μm以下）および均一帯電中和機構に代表されるAXISテクノロジーとユニークな設計の新型検出器の搭載により従来機より大幅に感度が向上しました。 AXIS-ULTRA DLDは表面分析装置としてマルチな機能（FE-AES, UPS, 試料反応室など）を持ち合わせており、試料を多角的に解析することができる世界最高レベルの分析装置です。 ◆ESCA-3400 詳細製品案内>> 　 コンパクトなサイズと操作性の良さで品質管理分析、製造管理分析に最適なESCA 装置本体のフットプリントはXPSとしては最小のW1000×D550 mmです。操作性は抜群に良く、ユーザーモードによりルーチンワークも楽にこなすことができます。 データシステムにWindows PCを採用しましたので、報告書の作成も簡単です。