真空機器　商品一覧　島津エミット株式会社

Shimadzu Emit Co.,Ltd.

真空機器

真空機器　商品一覧

	油回転真空ポンプ
	主として、中真空領域(100～10^-2Pa)での使用に適しているほか、高真空用ポンプの補助ポンプとしても使用されています。

	エコロジー真空ポンプ
	必要な圧力に応じて周波数を可変することにより省エネ運転ができます。

	真空排気セット
	メカニカルブースタポンプと油回転真空ポンプとを組合せ、リークバルブやゲージアダプタなどを設けて、保守点検にも便利なように考慮した排気セットです。

	メカニカルブースタポンプ(ルーツポンプ)
	油回転真空ポンプなどの補助ポンプと組み合わせて使用し、10³～10^-2Paで大きい排気速度を得ることができます。

	ターボ分子ポンプ
	補助ポンプと組み合わせて使用し、高真空を得ることができます。

	真空装置
	真空蒸着装置・スパッタリング装置、プラズマCVD装置、真空排気装置等、各種成膜装置を製作しております。

	ヘリウムリークディテクタ
	質量分析法により、微小な漏れを検出することができます。