産業機器

産業機械

高精度な製造装置や検査機器を開発し、先端産業分野のモノづくりをサポート。

半導体、薄型ディスプレイ、太陽電池などの製造・品質管理工程にかかわる産業機器を提供し、
最先端分野のさらなる発展に貢献しています。

●ターボ分子ポンプ ●太陽電池反射防止膜成膜装置 ●太陽電池セル検査装置 ●成膜装置

ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプ
半導体や太陽電池などの製造プロセスに欠かせない真空環境を作り出すターボ分子ポンプ。世界最大級の排気能力を持つターボ分子ポンプを製品化し、高精彩化がすすむタッチスクリーンパネルや大口径化がすすむシリコンウエハなどの成膜・加工に対応しています。

SHIMADZUのターボ分子ポンプは世界各地で活躍中です。
半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造・品質管理工程は、定期的なメンテナンスが必要なため、ターボ分子ポンプのサービスネットワークを全世界に展開。お客さまのご要望にスピーディーに対応し、世界中のユーザーから厚い信頼を得ています。

太陽電池反射防止膜製造装置

太陽電池反射防止膜製造装置
太陽の光が太陽電池の表面で反射することを防ぐための反射防止膜を成膜する装置です。これにより発電効率が上がり、かつ信頼性の高い太陽電池の製造が可能となりました。

太陽電池セル検査装置

太陽電池セル検査装置
太陽電池セルの外観や膜厚、電極などを高速で検査する装置です。この装置はライン停止による長期の生産中断の防止や、歩留まりの向上に効果を発揮します。

油圧機器(フルイディクス)

機械や車両のキーパーツとして産業の発展に貢献する。

産業車両・建設機械や農業機械の心臓部となる油圧歯車ポンプや特装車の油圧源となるパワーパッケージなど、
高度な油圧技術を駆使した高品質な機器を提供。産業の発展に貢献しています。

●油圧歯車ポンプ ●コントロールバルブ ●パワーパッケージ

油圧歯車ポンプ

油圧歯車ポンプ
フォークリフトなどの産業車両をはじめ、建設機械、特装車、農業機械などの油圧源として、幅広く活用されています。

コントロールバルブ

コントロールバルブ
複数のアクチュエータを制御することができる作業切り替え用操作バルブ。主に、フォークリフトに搭載され、荷役用(マストの昇降や、フォークのチルト機能用)に使用されています。

パワーパッケージ

パワーパッケージ
油圧歯車ポンプ内蔵のコンパクト油圧ユニット。搭載車両の電源を利用して、小さいながらも大きな力を生み出します。主に、ゲート車両や高所作業車に搭載されています。

日本と中国に製造工場を展開。
高品質な油圧機器を全世界に供給しています。

デバイス・コンポーネント

光学技術と微細加工技術で機器の高性能化を支える。

分析・計測機器や医用機器、写真現像装置などの性能向上を支える光学技術と微細加工技術。
高度な技術と豊富なノウハウで素材からの加工・製造が可能です。

●回折格子 ●レーザモジュール&レーザデバイス ●小形分光器・分光センサ ●精密屈折計 ●レンズ・レーザミラー ●MEMSチップ ●産業計測機器

回折格子

回折格子
さまざまな波長が混ざった光を波長ごとに分ける光学素子です。光ノイズが極めて少なく、結像特性が優れ、分析・計測・産業機器などのキーパーツとして血液分析装置や放射光施設、人工衛星による宇宙観測など幅広く利用され、先端技術の発展にも役立っています。

レーザミラー

レーザミラー
SHIMADZU独自の成膜技術を採用することで実現した世界最高クラスのレーザ耐性を有するレーザミラーです。特にYAGレーザ及びT iサファイアレーザに優れた耐性を発揮します。

固体レーザ(BEAM MATE)

固体レーザ(BEAM MATE)
最新の精密微小光学素子によって構成され、小型で高効率、高信頼性が特長です。分析計測や医用などの分野で活躍しています。

精密屈折計・小形分光器

精密屈折計・小形分光器
屈折計は携帯電話などに搭載されているカメラレンズの測定に用いられ、画質の向上に役立っています。分光器はスマートフォン用ディスプレイの測定に用いられ、使いやすさの向上に役立っています。

擬似位相整合(QPM)波長変換デバイス

擬似位相整合(QPM)波長変換デバイス
半導体プロセスで精密加工された新しい光デバイス。特定波長のレーザ光を別の波長に変換する機能が注目を集めています。

エンジン燃焼発光計測用光プローブ(ExDop)

エンジン燃焼発光計測用光プローブ(ExDop)
エンジン筒内のような過酷な条件下で使用可能な高耐久性光プローブ。各種光計測・分析装置に接続可能です。

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